అల్యూమినియం మిర్రర్ ఇన్లైన్ మాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ లైన్
ప్రధాన లక్షణాలు
- అల్యూమినియం మిర్రర్ ఇన్లైన్ మాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ లైన్ సాధారణంగా గ్లాస్ షీట్‌లపై వాక్యూమ్ కోటింగ్‌ను పూర్తి చేయడానికి బహుళ వాక్యూమ్ ఛాంబర్‌లతో వస్తుంది.
- ప్రధాన లక్షణాలు:
- 1.Max.glass పూత పరిమాణం:2440x3660mm లేదా అనుకూలీకరించబడింది
- 2. మల్టీ-వాక్యూమ్ ఛాంబర్లు మరియు మల్టీ-స్పుట్టరింగ్ ఛాంబర్ డిజైన్ అందుబాటులో ఉన్నాయి
- 3. క్షితిజ సమాంతర అయస్కాంత నియంత్రణ రేఖ సింగిల్-ఎండ్ మరియు డబుల్-ఎండ్ నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంటుంది;గ్లాస్ డబుల్ క్లీనింగ్, కోటింగ్, డిటెక్షన్, పెయింటింగ్, డ్రైయింగ్, కూలింగ్ అన్నీ ఒకేసారి పూర్తి చేయవచ్చు
- 4. స్పుట్టరింగ్ కోటింగ్ లైన్ మొత్తం ప్రక్రియ నియంత్రణ కోసం PLCని ఉపయోగిస్తుంది మరియు పూత ప్రక్రియ డేటాను చూపించడానికి కలర్ స్క్రీన్‌తో అమర్చబడి ఉంటుంది
పూత పొర: టైటానియం, క్రోమ్, స్టెయిన్లెస్ స్టీల్, అల్యూమినియం, వెండి, రాగి మొదలైనవి.
- సమ్మేళనం: TiN, TiO2, మొదలైనవి.
- పొర మందం: 5-100nm
- ప్రసారం: 380-780 nm తరంగదైర్ఘ్యాల వద్ద 8-40%
- నిక్షేపణ ఉష్ణోగ్రత: గది ఉష్ణోగ్రత
- 8 గంటల పంప్ డౌన్ తర్వాత అంతిమ ఒత్తిడి:
- ఎంట్రీ లాక్ చాంబర్ & వాక్యూమ్ లాక్ చాంబర్: 5×10-1 Pa లేదా అంతకంటే తక్కువ
- బఫర్ చాంబర్ 1 : 3×10-3 Pa లేదా అంతకంటే తక్కువ
- స్పుట్టరింగ్ చాంబర్: 2×10-3 Pa లేదా అంతకంటే తక్కువ
- బఫర్ చాంబర్ 2 : 3×10-3 Pa లేదా అంతకంటే తక్కువ
- లాక్ చాంబర్ & వాక్యూమ్ లాక్ చాంబర్ నుండి నిష్క్రమించండి: 5×10-1 Pa లేదా అంతకంటే తక్కువ
మీ సందేశాన్ని ఇక్కడ వ్రాసి మాకు పంపండి
